技术 | 金属溅射薄膜技术

金属溅射薄膜使用MEMS技术，直接在17-4PH不锈钢基片上制作应变电阻，将电阻溅射至不锈钢膜片上构建惠斯通电桥。通过基片的弹性变形输出与测量压力线性相关的mV电压信号，从而实现压力的精确及快速测量。

不锈钢薄膜在传感器元件和介质之间提供了不锈钢屏障，这种全焊接的干式测量单元不需要任何内部压力传输液体，传感器元件直接焊接到压力接口，从而消除了使用软密封材料可能出现的随着时间推移而损坏和泄漏的风险，同时也消除了使用O型圈或粘合密封时可能出现的缺陷。

由于我们的金属薄膜传感器不包含任何液体，因此没有工艺污染的风险。金属溅射薄膜压力传感器的主要优点是其优异的长期稳定性、可靠性、可重复性和耐用性，以及从0.5MPa至250MPa的较大压力范围内的压力测量能力，温度补偿范围为-40°C…+125°C，在大多数应用中，不需要额外的温度补偿。

金属溅射薄膜压力传感器具有高超压安全性，能够承受压力峰值和动态压力变化并保持高精度、零点稳定性和低温度误差性能。